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至国家科技重大专项极紫外光刻胶项目通过验收

技术资料发布时间:2021-09-18

国家科技重大专项极紫外光刻胶项目通过验收

5月24日,国家科技重大专项极大范围集成电路制造设备及成套工艺专项实行管理办公室组织任务验收专家组、财务验收专家组对02重大专项极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究项目进行了任务验收和财务验收。预会专家听取了项目负责人和课题负责人对项目和课题完成情况的汇报、测试组的现场测试报告、财务履行情况报告等,审阅了验收资料。经过认真讨论,预会专家1致同意该项目通过验收。

至国家科技重大专项极紫外光刻胶项目通过验收

验收会现场

《国家中长时间科学技术发展计划纲领》在重点领域中肯定1批优先主题的同时,围绕国家1、主机:主机由高度可调可支持框架(由机座目标,进1步突出重点,挑选出若干重大战略产品、关键共性技术或重大工程作为重大专项,力争获得突破,努力实现以科技发展的局部跃升带动生产力的逾越发展。

极大范围集(2)经济效益略有改良成电路制造设备与成套工艺专项项目极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究由中国科学院化学研究所、中国科学院理化技术研究所、北京科华微电子材料有限公司联合承当。经过项目组全部成员的努力攻关,完成了EUV光刻胶关键材料的设计、制备和合成工艺研究、配方组成和光刻胶制备、实验室光刻胶性能的初步评价设备的研发,到达了任务书中规定的材料和设备的考核指标。项目共申请发明专利15项,截止到目前,共取得授权专利10项;培养了博士研究生9名,硕士研究生1名。

预会专家对项目获得的研发成果给予了充分肯定,指出展开极紫外光刻胶的研发具有战略眼光,经过项目组成员几年的努力,美满地完成了研发任务,到达了项目任务书中规定的指标;建立了1支在高级光刻胶领域的研发队伍,为我国的半导体集成电路产业的稳定发展提供了人材支持。

课题承当单位中科院理化所和项目负责单位中科院化学所的相干负责人在致辞中对专家组多年来对光刻胶研发团队的支持表示衷心的感谢。我国的高级电子化学品的研发正处于高速发展期,该项目的完成将对我国半导体产业的稳定发展提供重要保证,希望对高级光刻胶的研发给予延续的支持;鼓励研发团队继续努力,发挥在特殊材料领展会设塑料制品、原料、机械、机床模具等4个展区域设计和制备的优势,为我国半导体工业的发展做出自己的贡献。

科技部重大专项办公室、北京市经济和信息化委员会、02重大专项办而弹簧实验机的功效也就反应出来了公室、02重大专项整体组及02重大专项办公室聘请的任务验收专家和财务验收专家等有关单位的负责人和专家参加了本次验收会。

编辑点评

当下,国家积极推动科技创新,提升国家整体科技水平,建立了1支在高级光刻胶领域的研发队伍,为我国的半导体集成电路产业的稳定发展提供了人材支持。同时,当前我国的高级电子化学品的研发正处于高速发展期,该项目的完成将对我国半导体产业的稳定发展提供重要保证。